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沉积氧压对Bi1.5ZnNb1.5O7薄膜的结构和介电特性的影响

张效华 , 辛凤 , 胡跃辉 , 杨丰 , 陈义川

人工晶体学报

采用固相反应法合成具有焦绿石立方结构的Bi1.5ZnNb1.507(BZN)陶瓷靶材,采用脉冲激光沉积法在Pt/SiO2/Si(100)基片上制备立方BZN薄膜.研究了沉积氧压的变化对薄膜的结晶性能,微观形貌以及介电性能的影响.结果表明:沉积的BZN薄膜都呈现出立方焦绿石单相结构,但是薄膜的取向随氧...

关键词: Bi1.5ZnNb1.5O7薄膜 , 脉冲激光沉积 , 微结构 , 介电性能