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Bi2Ti2O7薄膜制备及 Bi2Ti2O7绝缘栅场效应管研制

肖卓炳 , 吴显明 , 王少伟 , 王弘 , 王卓 , 尚淑霞 , 王民

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.02.013

采用化学溶液沉积法，以硝酸铋和钛酸四丁酯为原料成功地制备了 Bi2Ti2O7介质膜。制膜过 程简单，成本低廉，得到的薄膜具有良好的绝缘性和较高的介电常数，用其制备的绝缘栅场效应管 与相同尺寸的 SiO2绝缘栅场效应管相比，具有较高的跨导和较低的开启电压。

关键词: 化学溶液沉积法 , Bi2Ti2O7薄膜 , 介电常数 , 绝缘栅场效应管