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Ag/Bi3.25La0.75Ti3O12/Bi4Ti3O12/Si结构铁电薄膜制备及其铁电性能的研究

郭冬云 , 王耘波 , 于军 , 付承菊 , 高俊雄 , 李建军 , 陈万军

功能材料

利用溶胶-凝胶(sol-gel)方法,在硅基底上制备了Bi3.25La0.75Ti3O12/Bi4Ti3O12/Si铁电薄膜,其中Bi4Ti3O12作为缓冲层.用XRD方法分析了该结构铁电薄膜的物相结构;用扫描电镜对薄膜样品进行表面形貌观察;并且对该结构的铁电性能进行了研究.

关键词: 铁电薄膜 , Bi3.25La0.75Ti3O12 , Bi4Ti3O12:sol-gel法

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