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基于FPGA的BiSS-C协议编码器接口技术研究及解码实现

王希远 , 成荣 , 朱煜 , 孙贤

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20163104.0386

为了满足光刻机工件台超精密运动控制系统对位移测量的需求,本文提出了基于FPGA的BiSS-C协议解码方法,并针对该方法进行了电路设计以及实验验证.首先,研究了BiSS-C协议内容,就其组网方式和帧格式做了详细的介绍.然后,针对绝对式编码器解码要求,利用FPGA拓展性好、灵活性高等特点,通过状态机,设...

关键词: BiSS-C , FPGA , 容栅尺 , 编码器