宋晓岚
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王海波
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曲鹏
,
吴雪兰
,
邱冠周
材料科学与工艺
doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2005.05.017
为确定配制稳定的纳米γ-Al2O3化学机械抛光(CMP)浆料的工艺条件,通过润湿性、Zeta电位及黏度的测定,研究了溶液pH值及添加分散剂等因素对水相体系纳米γ-Al2O3悬浮液分散稳定性能的影响.结果表明,在纳米γ-Al2O3固含量为6%的浆料中,加入异丙醇胺作为分散剂,其用量为γ-Al2O3粉体质量的1%,同时控制浆料的pH值约为4时,纳米γ-Al2O3粉末的润湿性能最佳,此时浆料Zeta电位值较高,黏度较小;在该条件下成功获得长时间不沉降的稳定浆料.
关键词:
纳米γ-Al2O3
,
CMP浆料
,
分散剂
,
分散稳定
