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化学溶液法制备涂层导体过渡层La2Zr2O7厚膜的研究

王榕 , 索红莉 , 程艳玲 , 刘敏 , 赵跃 , 叶帅 , 高忙忙 , 周美玲

人工晶体学报

为制备高质量的双轴织构La2Zr2O7(LZO)涂层导体过渡层,本文采用化学溶液法(Chemical solution deposition,简称CSD法),以乙酰丙酮镧和乙酰丙酮锆为溶质,丙酸为溶剂配制成前驱盐溶液,在立方织构的Ni-5 at%W基底上用快速一步法退火工艺制备了LZO种子层及双层L...

关键词: 涂层导体 , CSD方法 , LZO过渡层 , 种子层