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化学气相沉积法制备硅质量分数6．5％硅钢的脆性

高超 , 苏芳臣 , 相颖杰 , 孙权 , 陈建钧

机械工程材料 doi:10.11973/jxgccl201512004

采用化学气相沉积(CVD)法制备了硅质量分数为6．5％的硅钢，利用扫描电镜、能谱仪和自主设计研发的三点压弯机研究了反应温度、气氛含氧量和 SiCl4含量对硅钢脆性的影响.结果表明：硅钢的晶粒尺寸随反应温度的升高而长大，硅钢的脆性随着晶粒尺寸的增加而增大；气氛含氧量在100 mg·kg－1时所制备的硅...

关键词: CVD 法 , 硅钢 , 脆性 , 晶界氧化