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金刚石膜与硬质合金基体间的界面状态

匡同春 , 刘正义 , 代明江 , 周克崧 , 王德政

金属学报

采用SEM，TEM对金刚石膜-硬质合金基体横截面的形态进行了研究，探讨了甲烷含量对CVD金刚石膜-基横截面各组织层次的影响结果表明，经化学侵蚀脱钻和等离子体刻蚀脱碳预处理的YG8硬质合金基体上所沉积的金刚石膜-基横截面组织的典型层次依次为：金刚石薄膜／薄的石墨碳中间层／细小的WC层／残留的脱碳层（η相+W相）／残留的疏松层／YG8原始基体甲烷含量对CVD金刚石膜-基横截面各组织层次的形成有显著的影响

关键词: CVD金刚石膜 , cemented carbide , interface , cross-sectional morphology