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φ400mm直拉硅单晶生长过程中氧浓度对微缺陷影响的数值模拟

曾庆凯 , 关小军 , 潘忠奔 , 张怀金 , 王丽君 , 禹宝军 , 刘千千

人工晶体学报

针对大直径直拉硅的微缺陷控制问题,模拟研究了初始氧浓度对于直径400 mm直拉硅单晶生长过程中原生点缺陷、空洞和氧沉淀演变规律.结果表明:晶体生长过程中氧沉淀和空洞的浓度及尺寸受晶体所经历的热历史和初始氧浓度的共同影响.当温度降低时,氧沉淀和空洞浓度降低,空洞尺寸增大,氧沉淀尺寸随初始氧浓度不同变化...

关键词: CZ硅 , 数值模拟 , 空洞 , 氧沉淀 , 初始氧浓度