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退火工艺对CaBi4.3Ti4O15铁电薄膜性能影响

范素华 , 徐静 , 王培吉 , 张丰庆

材料热处理学报

利用溶胶凝胶法制备了CaBi4.3Ti4O15 铁电薄膜材料,研究表明,退火工艺对CaBi4.3Ti4O15,铁电薄膜的结构、微观形貌、晶粒取向以及铁电性能影响较大,随着退火温度的提高,晶粒的取向为a轴择优取向,有利于样品的铁电性;气氛对薄膜的电学性能影响也较大,氧气气氛可以很好的抑制氧空位的产生,...

关键词: CaBi4.3 Ti4O15 , 退火工艺 , 铁电薄膜 , 铁电性能