李俊杰
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王树彬
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孙玉静
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田莳
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张跃
稀有金属材料与工程
采用溶碳活性很高的稀土金属Ce和过渡金属Fe熔炼出Ce-7%Fe(原子分数,下同)合金,利用该合金对CVD金刚石膜进行热化学抛光.结果表明:Ce-7%Fe合金在592℃就可以抛光金刚石膜,比报道的稀土抛光温度要低200℃以上;在680℃抛光3 h表面粗糙度Ra值由原来的5.95 μm降低到0.69 μm,抛光效率高达30 μm/h; SEM观察表明,抛光使膜的表面光洁度有明显提高;经拉曼光谱检测,抛光没有对金刚石膜造成任何污染.
关键词:
Ce-Fe合金
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低温
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高效
,
抛光
,
CVD金刚石膜
