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部分熔融Ce-Fe合金低温快速抛光CVD金刚石膜

李俊杰 , 王树彬 , 孙玉静 , 田莳 , 张跃

稀有金属材料与工程

采用溶碳活性很高的稀土金属Ce和过渡金属Fe熔炼出Ce-7%Fe(原子分数,下同)合金,利用该合金对CVD金刚石膜进行热化学抛光.结果表明:Ce-7%Fe合金在592℃就可以抛光金刚石膜,比报道的稀土抛光温度要低200℃以上;在680℃抛光3 h表面粗糙度Ra值由原来的5.95 μm降低到0.69 ...

关键词: Ce-Fe合金 , 低温 , 高效 , 抛光 , CVD金刚石膜