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NaBH4对化学镀CoFeB薄膜的制备和磁性能的影响

李海华 , 朱全庆 , 冯则坤 , 何华辉

功能材料

利用化学镀方法制备了CoFeB薄膜.研究了还原剂硼氢化钠NaBH4浓度对薄膜沉积速率、成分、结构和磁性能的影响.发现随着NaBH4浓度增大,沉积速率先升高后降低;CoFeB薄膜的结构由晶态转变为非晶态;Co、Fe析出量下降,析出B量增大;饱和磁化强度Ms减小,矫顽力Hc降低;CoFeB薄膜中的非晶磁性来源是由于近邻原子间的交换作用和局域磁各向异性这种短程有序确定的.

关键词: 化学镀 , CoFeB , 沉积 , 矫顽力 , 磁性