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NaBH4对化学镀CoFeB薄膜的制备和磁性能的影响

李海华 , 朱全庆 , 冯则坤 , 何华辉

功能材料

利用化学镀方法制备了CoFeB薄膜.研究了还原剂硼氢化钠NaBH4浓度对薄膜沉积速率、成分、结构和磁性能的影响.发现随着NaBH4浓度增大,沉积速率先升高后降低;CoFeB薄膜的结构由晶态转变为非晶态;Co、Fe析出量下降,析出B量增大;饱和磁化强度Ms减小,矫顽力Hc降低;CoFeB薄膜中的非晶磁...

关键词: 化学镀 , CoFeB , 沉积 , 矫顽力 , 磁性