江建军
,
马强
,
别少伟
,
杜刚
,
梁培
,
何华辉
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2008.00277
采用直流/射频磁控溅射方法和不连续多层交替溅射工艺, 制备了CoFeB-SiO2系列纳米不连续多层磁性颗粒膜, 并对制备的薄膜样品进行了不同温度下的退火处理. 实验结果表明, 通过调整SiO2绝缘介质相含量及磁场退火温度可有效地调控薄膜微结构和微波电磁特性...
关键词:
CoFeB-SiO2
,
discontinuous multilayer
,
microwave electromagnetic
,
complex permeability
江建军
,
马强
,
别少伟
,
杜刚
,
梁培
,
何华辉
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2008.02.015
采用直流/射频磁控溅射方法和不连续多层交替溅射工艺,制备了CoFeB-SiO2系列纳米不连续多层磁性颗粒膜,并对制备的薄膜样品进行了不同温度下的退火处理.实验结果表明,通过调整SiO2绝缘介质相含量及磁场退火温度可有效地调控薄膜微结构和微波电磁特性.制备的薄膜样品在GHz微波频段同时具有高磁导率和高...
关键词:
CoFeB-SiO2
,
不连续多层膜
,
微波电磁特性
,
复磁导率
