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姜传海 , 程凡雄 , 吴建生
金属学报 doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2005.05.007
利用二维X射线衍射线形分析方法,分析了CoSi2薄膜材料的二维衍射线形.结果表明,薄膜中不同方位的衍射线形存在明显差异,主要与材料中晶粒尺寸及显微畸变的空间分布有关,其中沿薄膜法线方向上的晶粒尺寸最大,同时该方向的显微畸变最小.
关键词: CoSi2薄膜材料 , 二维X射线衍射 , 线形分析
