郭巧琴
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李建平
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蒋百灵
材料热处理学报
利用非平衡磁控溅射离子镀技术在铝基轴承合金表面沉积Cp/AlSn复合镀层.采用原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)对镀层的微观形貌进行观察,并对镀层的维氏硬度和摩擦学性能进行了测试.结果表明,非平衡磁控溅射离子镀Cp/AlSn镀层,当碳靶电流在0.2～0.8A范围内,镀层呈等轴结构生长,随碳靶电流增大,镀层晶粒逐渐细化,且致密度增加;在Cp/AlSn复合镀层中,Al、Sn和C元素分别以单质形式存在,且随掺碳量增加,Cp/AlSn复合镀层非晶特征逐渐增强;随碳靶电流增加,镀层硬度增加,摩擦系数减小,电流为0.8A时,镀层硬度最高为230 HV0.025.摩擦系数最低为0.09,磨损率先减小后增大,碳靶电流为0.4A时,镀层的磨损率最低为6.6×10-16 m3/(N·m),其磨损机制逐渐由粘着磨损转变为磨粒磨损.
关键词:
非平衡磁控溅射
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Cp/AlSn镀层
,
硬度
,
摩擦系数
郭巧琴
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李建平
,
郭永春
稀有金属材料与工程
采用非平衡磁控溅射离子镀技术,当碳靶电流在0.2～.0.8 A范围,在AlZn4.5Mg轴承合金和单晶硅Si (100)表面制备Cp/AlSn复合镀层.通过X射线衍射(XRD),扫描电子显微镜(SEM)以及X射线光电子能谱(XPS)分别对复合镀层的相组成,微观形貌及化学态进行表征.结果表明:复合镀层为等轴晶结构;其相组成主要为均匀分布的铝、锡和碳3种相;X射线光电子能谱分析表明,在Cp/AlSn复合镀层中,铝和锡2种元素主要以单质形态存在,碳元素以sp2和sp32种杂化形式存在,其中以sp2杂化为主.
关键词:
Cp/AlSn镀层
,
磁控溅射
,
显微结构
