郭巧琴
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李建平
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郭永春
稀有金属材料与工程
采用非平衡磁控溅射离子镀技术,当碳靶电流在0.2～.0.8 A范围,在AlZn4.5Mg轴承合金和单晶硅Si (100)表面制备Cp/AlSn复合镀层.通过X射线衍射(XRD),扫描电子显微镜(SEM)以及X射线光电子能谱(XPS)分别对复合镀层的相组成,微观形貌及化学态进行表征.结果表明:复合镀层为等轴晶结构;其相组成主要为均匀分布的铝、锡和碳3种相;X射线光电子能谱分析表明,在Cp/AlSn复合镀层中,铝和锡2种元素主要以单质形态存在,碳元素以sp2和sp32种杂化形式存在,其中以sp2杂化为主.
关键词:
Cp/AlSn镀层
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磁控溅射
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显微结构
