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磁控溅射Cr/C镀层耐热性能研究

严少平 , 蒋百灵 , 苏阳 , 白力静 , 龙艳妮

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2008.11.009

在空气炉加热环境下于不同温度对采用磁控溅射离子镀技术制备Cr/C镀层样品进行加热保温处理.研究了不同加热温度下镀层的相结构、硬度和结合力的变化,考察了Cr/C镀层的耐热性能.结果表明:在600℃以下,Cr/C镀层保持了高硬度和强结合力的性能,表明镀层具有良好的耐热性能;镀层受热过程中生成了致密的铬氧化物及铬碳化合物,起到阻碍了氧原子向内层扩散的效果,使镀层氧化失稳的温度大大提高,从而保证了良好的耐热性能;处理温度达800℃后,镀层硬度和结合力明显下降.

关键词: 磁控溅射 , Cr/C镀层 , 热处理 , 耐热性能

磁控溅射C靶电流对Cr/C和Cr/C/N复合镀层组织和性能的影响

贾贵西 , 李言 , 李洪涛 , 蒋百灵

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2011.03.013

利用控溅射技术,通过改变溅射C靶电流工艺参数,在45#钢上制备出Cr/C和Cr/C/N复合镀层.用能谱仪(EDS),X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)检测镀层的微观组织;用HX-1000型维氏显微硬度计、球-盘摩擦磨损试验机(POD)、光学显微镜(OM)测试镀层的力学性能.结果表明:随C靶电流增加,镀层微观结构都变得更加均匀和致密,硬度在变大,韧性在提高,耐磨性明显提高;所获C电流为1.2A的镀层有优异的摩擦磨损性能;Cr/C/N镀层综合力学性能优于Cr/C镀层.

关键词: 磁控溅射 , C靶电流 , Cr/C镀层 , Cr/C/N镀层 , 性能

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