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电弧离子镀沉积Al(Cr)--O--N扩散阻挡层的研究

王启民 , 武颖娜 , 纪爱玲

金属学报

采用电弧离子镀方法在高温合金DSM11基材上沉积Al--O--N和Cr--O--N薄膜, 研究了不同O2, N2流量对薄膜相结构的影响以及高温下DSM11/NiCoCrAlY,DSM11/Al--O--N/NiCoCrAlY和DSM11/Cr--O--N/ NiCoCrAlY体系的元素互扩散行为.实验结果表明, Al(Cr)--O--N薄膜均为多晶膜,分别具有α--Al2O3+六方AlN和Cr2O3+CrN的相结构,随着N2, O2流量的改变, 两相的相对含量发生变化. 在1050℃下氧化100 h后, Al--O--N层阻挡基体与涂层间元素互扩散的作用优于Cr--O--N层. 扩散阻挡层对涂层的氧化动力学影响不大.

关键词: Al--O--N , Cr--O--N , diffusion barrier layer

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