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基体负偏压对CrAlN涂层组织和性能的影响

常伟 , 牟仁德 , 商晓宇 , 何利民 , 陆峰 , 汤智慧

机械工程材料

采用真空多弧离子镀技术，使用Cr30A170（原子分数）复合靶，在不同的基体负偏压下，在不锈钢基体上制备了一系列CrAlN涂层；采用能谱仪、X射线衍射仪、扫描电子显微镜、粗糙度仪、显微硬度仪、摩擦磨损试验机和划痕仪等系统分析了涂层的成分、表面形貌、相结构、粗糙度、显微硬度、摩擦磨损性能和界面结合性能...

关键词: 真空多弧离子镀 , 复合靶 , CrAlN涂层 , 显微组织