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磁控溅射CrAlYN涂层的硬度和抗氧化性能

张罡 , 尹雪 , 张济 , 杜晓明 , 娄长胜

材料热处理学报

采用磁控溅射技术,在高速钢基材上沉积了不同Y含量的CrAlYN涂层,进行了900℃下lh高温氧化试验.通过SEM、EDS、XRD和纳米压痕仪等对涂层元素组成、纳米硬度、弹性模量以及热处理前后的表面形貌和物相组成进行了表征.研究了Y含量对CrAlYN涂层硬度,弹性模量、物相组成和高温抗氧化性能的影响....

关键词: 磁控溅射 , CrAlYN涂层 , 抗氧化性能 , 纳米硬度 , 弹性模量