王浩琦
,
覃礼钊
,
官家建
,
李彬
,
林华
,
李元
,
梁宏
,
廖斌
表面技术
doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.01.002
目的 通过磁过滤阴极弧沉积技术制备质量优异的CrCN涂层.研究乙炔/氮气混合气体流量以及基底偏压对薄膜结构和成分的影响.方法 采用磁过滤真空阴极弧沉积技术,在20~100 mL/min变化的乙炔/氮气混合气体流量参数下沉积CrCN复合薄膜.通过X射线衍射、场发射电子显微镜、扫描探针显微镜、X射线光电...
关键词:
CrCN
,
结构分析
,
磁过滤真空阴极弧沉积
,
X射线光电子能谱