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磁过滤阴极弧法制备CrCN薄膜结构与组分研究

王浩琦 , 覃礼钊 , 官家建 , 李彬 , 林华 , 李元 , 梁宏 , 廖斌

表面技术 doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.01.002

目的 通过磁过滤阴极弧沉积技术制备质量优异的CrCN涂层.研究乙炔/氮气混合气体流量以及基底偏压对薄膜结构和成分的影响.方法 采用磁过滤真空阴极弧沉积技术,在20~100 mL/min变化的乙炔/氮气混合气体流量参数下沉积CrCN复合薄膜.通过X射线衍射、场发射电子显微镜、扫描探针显微镜、X射线光电...

关键词: CrCN , 结构分析 , 磁过滤真空阴极弧沉积 , X射线光电子能谱