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电弧离子镀CrSiN薄膜的内应力控制与厚膜化

聂朝胤 , 安藤彰朗 , 潘婧 , 贾晓芳

材料热处理学报

采用电弧离子镀技术在不锈钢SUS440C基片上沉积了CrSiN薄膜,并在此基础上通过引入Cr应力缓和层制备了CrSiN/Cr多层薄膜,研究了Cr应力缓和层对缓解CrSiN薄膜内部应力、增强膜基结合力、提高薄膜沉积厚度的作用.利用X射线衍射仪及sin2ψ法测试计算了薄膜的内部应力、采用扫描电镜及透射电...

关键词: 电弧离子镀 , CrSiN薄膜 , Cr应力缓和层 , 内部应力 , 膜基结合强度