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葛培林 , 刘小萍 , 尚魁平 , 冶艳 , 鲍明东
表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2012.02.023
在经过离子氮化处理的H13钢基体上,采用闭合场非平衡磁控溅射法制备了CrTiAlN硬质涂层,并与未氮化的镀膜试样进行了膜基结合强度、膜层微观结构形貌及相组成的对比.结果表明:离子氮化处理可提高基体硬度,形成硬度梯度过渡；氮化+镀膜复合处理可以显著提高膜基结合强度.
关键词: 离子氮化 , 磁控溅射 , 渗氮层 , CrTiAlN薄膜 , 结合强度
