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Cu/Sn比率对Cu_2SnSe_3薄膜若干物理性质的影响

张伟 , 陈顺礼 , 汪渊

功能材料

利用射频（RF）磁控溅射在玻璃基片上共溅射沉积Cu-Sn预制膜。采用固态硒化法,制备Cu/Sn化学计量比在1.87～2.22之间的Cu2SnSe3薄膜。研究了Cu/Sn比率对Cu2SnSe3薄膜的晶体结构、微结构、光学性能以及电学性能的影响。X射线衍射（XRD）结果表明,所制备的Cu2SnSe3薄膜...

关键词: Cu2SnSe3薄膜 , Cu/Sn比率 , 硒化 , 物理性质