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预沉积Cu膜对不锈钢基体上沉积C-90%SiC涂层的影响

杜纪富 , 孙彩霞

表面技术

C-90% SiC涂层涂覆在不锈钢废物包装桶的内壁上,可以有效防止放射性废物中氚的渗透,涂层与不锈钢基体材料的粘着性能是此类阻氚涂层使用寿命长短的关键.采用中频磁控溅射结合离子束混合技术,在不锈钢基体上沉积C-90% SiC涂层,探索提高涂层粘着性能的方法,通过二次离子质谱和SEM形貌表征涂层与基体之间的结合性能.结果表明,预沉积一层Cu膜,可以使涂层与基体之间的元素混合效应大大提高,有利于提高涂层的粘着性能.

关键词: 阻氚涂层 , C-SiC涂层 , Cu预沉积 , 离子束混合 , 结合性能

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