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二元不互溶Cu-Ta体系非晶相的形成

黄昌清 , 隋曼龄

材料研究学报 doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2004.03.011

利用X射线衍射(XRD)、高分辨透射电子显微术(HRTEM)和X射线能谱(EDS)研究了共溅射Cu-Ta薄膜中非晶相的形成.结果表明,共溅射Cu-Ta薄膜为非晶相,但是其中存在着纳米尺度的Cu晶粒和富Cu的非晶纳米颗粒,即存在纳米尺度的相分离.正的混合热是导致Cu-Ta二元不互溶体系非晶态薄膜相分离的本质原因.

关键词: 金属材料 , Cu-Ta非晶相 , 共溅射薄膜 , 高分辨透射电子显微术 , 不互溶体系