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化学气相沉积制备铜锌合金微米杆

靳英坤 , 李焕勇

人工晶体学报

采用化学气相沉积的方法,以锌粉、硝酸铜为原料,在硅衬底上制备了铜锌合金微米杆.用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和X射线能谱(EDS)对沉积产物的结构、形貌和成分进行了测试与表征.结果表明,生长的铜锌合金微米杆为金属间化合物Cu3Zn合金,为立方相结构,直径在0.1 ～5 μm之间,长...

关键词: Cu3Zn , 合金微米杆 , 化学气相沉积 , 生长机制