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真空快速退火对CIGS太阳能电池性能的影响

田力 , 张晓勇 , 毛启楠 , 李学耕 , 于平荣 , 王东

无机材料学报 doi:10.15541/jim20140182

采用溅射后硒化法制备CIGS电池吸收层,并在此基础上制备具有glass/Mo/CIGS/CdS/i-ZnO/ZnO:A1/Ni-A1结构的CIGS电池.实验研究了真空退火对电池性能的影响.通过优化退火条件,电池光电转换效率从4.91%提高到14.01%.进一步研究发现,退火有助于改善部分单层薄膜的性能,但是其对电池性能的提升主要来自来于:1)退火促使Cd2+扩散进入CIGS表面取代Vcu,钝化浅能级缺陷的同时形成n-CIGS,使p-n结进入CIGS层内部,从而大幅减少了界面复合中心;2)退火使得CIGS表面吸附的H2O分子脱附,提高了CIGS电学和带隙均匀性,从而改善电池的均匀性,电池性能得到全面提升.

关键词: CuInxGa1-xSe , 退火 , 溅射后硒化 , 均匀性 , 同质结

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