材料期刊网

旋转对Cz法硅晶生长过程中热输运和熔体流动影响的数值模拟

金超花 , 朱彤

人工晶体学报

建立了一个120 kg单晶炉的二维轴对称全局模型,分别对无旋转、加入晶体旋转、加入坩埚旋转、同时加入晶体旋转和坩埚旋转的四种工况展开了数值模拟研究.得到了晶体旋转及坩埚旋转对晶体生长过程的拉晶功率、炉内温度分布和熔体流动的影响;得到了不同晶体长度下拉晶炉内的温度分布以及熔体流动的变化规律.结果显示,...

关键词: Cz法 , 硅晶 , 数值模拟 , 旋转 , 温度分布 , 熔体流动