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富勒烯（C60）与类金刚石碳复合膜的Debye模型的模拟计算

张建成 , 沈悦 , 陈建明 , 杨运峰 , 居建华 , 张天舒

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.03.007

由C60和类金刚石碳膜（DLC）组成的多层复合膜可在Si、玻璃和其它衬底上通过真空升华 沉积和随后以CH4和H2作为反应剂用射频化学气相沉积（RFCVD）的方法制备。这种膜的若干 特征可由拉曼谱（Raman）表征。复合膜电阻与介电常数由低频（LF）阻抗分析仪进行研究从而得 到膜电阻、介电常数和频率间的关系。这些结果表明：在各种频率下的此类复合膜的电阻与纯C60 膜基本一致，但是纯C60膜随频率变化的电容率与复合膜明显不同。这些现象与结果可通过电 介质的德拜模型和介质松弛理论进行分析与讨论。根据相应的Debye模型方程式，实验测得的 介电常数和频率间的关系经计算机拟合，得到了复合膜的松弛时间，介电常数等。拟合结果基本 上与实验数据一致。

关键词: C60 , DLC复合膜 , 介电特性