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STUDY ON COMPOSITION, MICROSTRUCTURE AND HARDNESS OF DLC FILMS BY VCAD

L.Chen , Z.Y.Liu , D.C.Zeng , W.Q.Qiu , Z.H.Yuan , S.S.Lin , H.J.Hou

金属学报(英文版)

DLC super-hard films have been deposited on the substrates of single crystalline Si, pure Ti and stainless steel 18-8 by a method of vacuum cathode arc deposition (VCAD). The composition, microstructure and micro-hardness of the films have been studied in this paper. The results indicate that hardne...

关键词: DLC films , null , null

DLC和CrN薄膜在油润滑下的摩擦性能

王顺花 , 尚伦霖 , 张广安 , 耿中荣 , 刘千喜

宇航材料工艺 doi:10.3969/j.issn.1007-2330.2014.06.005

采用闭合场非平衡直流磁控溅射技术和阴极电弧离子镀技术在轴承钢表面分别制备了DLC和CrN薄膜,在全配方发动机油(CF-4,15W/40)润滑条件下,选择DLC/钢、CrN/钢摩擦配副,用SRV-Ⅳ摩擦实验机考察了25℃和100℃时DLC与CrN薄膜在不同载荷下的摩擦因数和磨损率,并对摩擦界面进行分析...

关键词: DLC薄膜 , CrN薄膜 , 摩擦因数 , 磨损率 , 摩擦学性能 , 固液复合润滑 , 摩擦化学反应

Characterization and analysis of DLC films with different thickness deposited by RF magnetron PECVD

稀有金属（英文版） doi:10.1007/s12598-012-0491-x

关键词:

Preparation and Characterization of DLC Films by Twinned ECR Microwave Plasma Enhanced CVD for Microelectromechanical Systems (MEMS) Applications

武汉理工大学学报-材料科学版(英文版)

关键词:

Co-C颗粒膜的结构、磁性能和GMR效应研究

马垒 , 刘仲武 , 曾德长 , 钟夏平 , 成钢

稀有金属材料与工程

采用直流磁控溅射技术,在n-Si (100)衬底上制备了CoxC100-x(x=2.5～50,at％)颗粒膜,并对薄膜的结构、形貌、磁性能和巨磁电阻(GMR)效应做了系统的研究.结果表明:制备态的Co-C薄膜为非晶结构,且表面光滑、颗粒尺寸及膜厚度均匀；随热处理温度的增加,Co成分在300℃逐渐开始...

关键词: 颗粒膜 , DLC膜 , GMR效应 , 磁控溅射

液相电沉积类金刚石薄膜的相关物理化学问题

酒金婷 , 付强 , 汪浩 , 朱鹤孙

无机材料学报

利用液相电沉积技术制备了含氢类金刚石薄膜(ＤＬＣ);讨论了应用电位和沉积碳源对沉积过程和薄膜结构的影响;结果表明有高介电常数、低粘度、分子中甲基基团直接与极性基团键合的有机液体是合适的沉积碳源;通过增加沉积电位将有利于薄膜中ｓｐ^３碳的生长;最后,作者提出了液相...

关键词: DLC薄膜 , liquid electrodeposition , carbon source , mechanism

STUDY ON COMPOSITION, MICROSTRUCTURE AND HARDNESS OF DLC FILMS BY VCAD

金属学报(英文版)

关键词:

不锈钢表面沉积DLC膜的结构和性能

孙丽丽 , 张栋 , 陈仁德 , 柯培玲 , 许辉 , 汪爱英

材料研究学报

应用线性离子束复合磁控溅射技术在不锈钢和硅片基体上制备DLC膜,研究了基体偏压和过渡层的厚度和结构对DLC薄膜结构和性能的影响.结果表明,在过渡层相同偏压为-200V的条件下,薄膜中的sp3键含量更低,但是薄膜结构致密性的提高使其硬度和膜基结合力反而提高;在偏压为200 V的条件下,随着过渡层厚度及...

关键词: 无机非金属材料 , DLC膜 , 不锈钢 , 结合力 , 硬度