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DU-Ti合金表面N+Ti+多层Ti/TiN复合膜的制备与耐蚀性

严东旭 , 刘天伟 , 龙重 , 白彬 , 张鹏程 , 黄河 , 郎定木 , 王晓红 , 朱建国

材料保护

采用单一的表面改性技术难以提高贫铀钛合金(Du-Ti)的耐蚀性能.采用等离子体浸没离子注入技术依次在Du-Ti合金表面注入N和Ti,再利用非平衡脉冲磁控溅射技术制备多层Ti/,TiN,研究了膜层的形貌、结构及耐蚀性能.结果表明:膜层厚约3μm,呈柱状结构,致密,但存在一些微缺陷,膜基结合紧密;膜层出...

关键词: 等离子体浸没离子注入 , 非平衡磁控溅射 , 复合膜 , DU-Ti合金 , 电化学腐蚀 , 耐蚀性