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EACVD摆动衬底空间流场有限元模拟研究

王鸿翔 , 左敦稳 , 卢文壮 , 徐峰 , 陈拥军

人工晶体学报

根据EACVD系统的实际几何特点和工艺参数建立了该系统的三维流场有限元模型,研究了衬底温度及摆动周期、热丝参数、进气口参数对衬底表面流场均匀性的影响.结果表明:衬底低速摆动情况下摆动周期的变化对衬底表面流场的分布没有影响,衬底温度,热丝参数,进气口参数对衬底表面流场都有一定的影响,其中,热丝的排列方...

关键词: EACVD , 金刚石膜 , 流场 , 有限元模拟