王云
,
陈志
,
赵红卫
,
赵阳阳
,
孙良亭
,
杨尧
,
钱程
,
武启
,
马鸿义
,
张文慧
,
张子民
,
张雪珍
,
刘占稳
原子核物理评论
doi:10.11804/NuclPhysRev.30.02.141
为了提高强流ECR离子源的引出束流品质,分别设计了1#和2#引出系统,利用束流引出模拟软件PBGUNS对1#和2#引出系统进行了质子束流引出与传输的模拟计算,结合实际测得的发射度数据分析引出系统,发现2#引出系统比1#引出系统引出束流品质高。对ECR离子源引出系统的电势等位线分布等参数引起的球差进行...
关键词:
ECR
,
束流引出系统
,
电势等位线分布
,
球差
程华
,
王萍
,
崔岩
,
吴爱民
,
石南林
材料研究学报
以Ar+SiH_4作为反应气体,采用电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积(ECR-PECVD)方法制备微晶硅薄膜,研究了基片温度对薄膜微观结构、吸收系数、光学禁带宽度的影响。结果表明,随着基片温度的升高,薄膜的微观组织逐渐由非晶转化为微晶,薄膜的粗糙度单调增大,而H含量则单调减小。薄膜的光学吸收系数...
关键词:
材料合成与加工工艺
,
微晶硅薄膜
,
ECR
,
PECVD
,
吸收系数
,
光学带隙