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热处理对大直径半绝缘砷化镓中EL2缺陷的影响

王丽华 , 郝秋艳 , 解新建 , 刘红艳 , 刘彩池

材料热处理学报

利用金相显微镜和微区红外测量技术分析热处理对液封直拉法生长的大直径半绝缘砷化镓（LECSI-GaAs）单晶中深施主缺陷EL2的影响。结果表明，原生大直径SI—GaAs样品中EL2缺陷浓度沿直径方向的分布呈现中心区域较高、近中心区域最低、边缘区域最高的特点。500℃退火EL2缺陷浓度稳定，真空闭管并快...

关键词: 半绝缘砷化镓 , 热处理 , EL2缺陷 , 微区红外测量技术