姚博
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方泽波
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朱燕艳
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陈圣
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李海蓉
功能材料
采用分子束外延（MBE）方法在Si（001）衬底上生长了Er2O3薄膜。高分辨率透射电子显微镜（HRTEM）测试显示Er2O3薄膜保持了在衬底上完好的外延,样品为均匀的单晶结构。将单晶Er2O3薄膜制备成MOS结构并对其做电容-电压（C-V）测试时,发现样品在高频时积累端电容出现了很大程度的频率色散现象。为了解释这种现象,提出了样品中存在缺氧层的结构模型。对该模型等效电路阻抗表达式推导得到了电容-频率方程,并将此方程与实验数据进行拟合,得到的图形、变量参数表明,未完全氧化的插入层是高频MOS C-V测试出现频率色散现象的主要原因。因此认为要消除Er2O3栅介质积累端的频率色散效应,需要尽量减少或避免缺氧层的形成。
关键词:
Er2O3
,
高频C-V测试
,
高k栅介质
,
频率色散
罗旭东
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曲殿利
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张国栋
复合材料学报
以菱镁矿风化石、工业Al2O3和SiO2微粉为原料,固相反应烧结合成制备堇青石.通过在反应物中分别加入不同含量的Eu2O3、Dy2O3和Er2O3,研究分析和对比了Eu3+、Dy3+和Er3+对堇青石晶相组成、晶粒大小、晶胞常数、结晶度及显微结构的影响.采用XRD和SEM表征试样中的晶相和显微结构,利用X'Pert Plus 软件对结晶相的晶胞参数和结晶度进行分析,采用半定量法对试样晶相组成进行计算,利用Scherrer公式计算堇青石的晶粒大小.结果表明:由于Eu2O3、Dy2O3和Er2O3的加入,通过固相反应烧结所得堇青石试样中出现了莫来石相,Eu3+、Dy3+和Er3+对Mg2+的置换作用改变了堇青石相晶格常数和晶胞体积.随着添加剂含量的增加,堇青石结构中液相量增加,相对结晶度降低,常温致密度提高,堇青石晶粒粒径减小.综合对比分析,Eu2O3对堇青石晶相转变的影响程度最弱,Er2O3对堇青石晶相转变的影响程度最强,对提高合成堇青石的烧结性和热震稳定性效果最好.
关键词:
Eu2O3
,
Dy2O3
,
Er2O3
,
堇青石
,
晶相转变
毕四龙
,
吴伯麟
硅酸盐通报
以工业Al2 O3为主要原料,CaO-MgO-SiO2作为烧结助剂的体系中,研究了Er2 O3的添加对高铝瓷的耐磨性的影响.结果表明:过量添加Er2 O3明显提高了陶瓷样品的烧结温度,陶瓷的耐磨性能也被恶化.而微量添加Er2O3对陶瓷的烧结温度影响不大,且耐磨性能提高了约22％.
关键词:
Er2O3
,
Al2O3陶瓷
,
耐磨性
李铭岫
,
高元哲
,
王继业
应用化学
doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2003.03.009
用共沉淀法在Mo-Bi-O催化剂中加入Er2O3,并在固定床反应器中考察了Er2O3添加量、反应温度、异丁烯浓度、原料气流量等对异丁烯转化为甲基丙烯醛反应的影响. 实验表明,添加Er2O3可明显提高异丁烯的转化率和甲基丙烯醛的选择性,Er2O3的添加量为15%时,甲基丙烯醛产率最高. 用XRD技术研究了催化剂的组成,Mo-Bi-O催化剂的成分主要是α-Bi2Mo3O12,添加Er后出现了Er2Mo3O12的衍射峰.
关键词:
Er2O3
,
Mo-Bi-O催化剂
,
异丁烯
,
甲基丙烯醛
,
部分氧化
方泽波
,
谭永胜
,
朱燕艳
,
陈圣
,
蒋最敏
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2008.00357
采用高真空反应蒸发法在未加热的p型Si(100)衬底上实现了非晶Er2O3高k栅介质薄膜的生长. 俄歇电子能谱证实薄膜组分符合化学剂量比. X射线衍射、反射式高能电子衍射和高分辨透射电子显微镜测量表明, 不但原位沉积的薄膜是非晶结构, 而且高真空700℃退火30min后样品仍保持了良好的非晶稳定性. 原子力显微镜检测显示高真空退火有利于改善薄膜的表面形貌. 退火后, Er2O3薄膜获得了平整的表面. 电容-电压测试得到薄膜的有效介电常数为12.6, EOT为1.4nm, 在1MV/cm时漏电流密度为8×10-4A/cm2. 这些特征表明非晶Er2O3薄膜是一种较好的高k栅介质候选材料.
关键词:
高k栅介质
,
Er2O3
,
reactive evaporation
