欢迎登录材料期刊网

材料期刊网

高级检索

检索条件:关键词=FIB  

  • 论文(3)

一种FIB刻蚀结合KOH腐蚀的制造纳米梁的新方法

成海涛 , 杨恒 , 王跃林

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2010.02.014

常规的通过干法刻蚀制作纳米梁的方法会不可避免地在梁上引入晶格损伤层.本文提出一种制造无晶格损伤层纳米梁的新工艺方法.在常规光刻后,辅助利用FIB(聚焦离子束)刻蚀修改硅梁中部上方的SiO2掩模.根据单晶硅的材料和工艺特点,通过KOH各向异性腐蚀,硅梁两侧壁与硅片表面垂直,并自停止为(111)面.自停...

关键词: 纳米梁 , 各向异性腐蚀 , FIB

合金化热镀锌镀层组织Г相的结构分析

余金山 , 刘俊亮 , 张津徐 , 吴建生

材料科学与工艺 doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2008.01.025

为了研究合金化热镀锌镀层组织Г相的结构,采用聚焦离子束(FIB)方法制备了合金化热镀锌无间隙原子(IF)钢板镀层横截面透射电镜(TEM)试样,应用TEM对其显微结构进行了观察和选区电子衍射分析,应用X射线能谱仪(EDX)测定了Г相的化学成分,并介绍了FIB方法制备TEM试样的过程.结果表明,Г相选区...

关键词: Г相 , TEM , FIB , 超点阵反射 , 原子占位

纳米金属掩膜和离子辐照技术制备高温超导约瑟夫森结

阳运国 , 张鸣剑 , 潘军 , 伍展文 , 陈莺飞 , 徐小平 , 田海燕 , 李洁 , 崔大健 , 林德华 , 郑东宁

低温物理学报 doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2008.01.018

研究了一种利用纳米金属掩膜和离子辐照技术在高温超导YBCO薄膜上制备Josephson结的方法.首先用在YBCO薄膜甩上一层800nm左右的光刻胶(PMMA),继而在光刻胶上用直流磁控溅射的方法镀上一层大约300nm左右的Cr膜,利用紫外曝光和离子刻蚀的方法在YBCO薄膜上形成覆盖有Cr膜的微桥,然...

关键词: 约瑟夫森结 , FIB , 离子辐照