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强制脉冲CVI沉积C纤维表面涂层的工艺研究

周清 , 董绍明 , 张翔宇 , 丁玉生 , 黄政仁 , 江东亮

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2006.06.016

以MTS/H2为前驱物,采用强制脉冲CVI(FP-CVI)方法,进行了在C纤维表面沉积SiC涂层的研究,并探讨了其工艺过程.结果表明,在1000~1100℃和(5~25)kPa,沉积得到的β-SiC具有明显的(111)面取向,涂层均匀一致,厚度可控.在实验过程中,随着单次驻留时间和脉冲次数的增加,涂层厚度也随之增加,涂层厚度与脉冲次数成非线性关系.当脉冲次数为300时,C纤维表面沉积SiC层后其质量增加达到36.18%.

关键词: C纤维 , SiC涂层 , FP-CVI

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