材料期刊网

用于微机械器件在Fe-Ni合金电镀沉积膜的性能

陈垚 , 张轩雄

金属学报

结合Ｓｉ体微机械技术和电镀技术加工出Ｆｅ－Ｎｉ／Ｃｕ／Ｓｉ复合悬臂梁, 其中Ｆｅ－Ｎｉ膜厚３μｍ, Ｃｕ膜厚０．２μｍ, 利用共振法首次测出在１．３Ｐａ气压下, 复合悬臂梁中Ｆｅ－Ｎｉ（Ｆｅ６４, Ｎｉ３６, 质量分数％）电镀沉积膜的内耗为１０＾－３, 利用自行设计的微力／微位 天平法, 测出Ｆｅ－Ｎｉ（Ｆｅ５７, Ｎｉ４３）／Ｃｕ／Ｓｉ复合悬臂梁的Ｙｏｕｎｇ‘ｓ模量为１．９×１０＾１１Ｎ／ｍ＾２.

关键词: 微机械 , null