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制备条件和退火处理对Fex/(In2O3)1-x颗粒膜结构、磁性及巨磁电阻的影响

黄宝歆 , 刘宜华 , 王军华 , 张林 , 张汝贞 , 梅良模

功能材料

用射频溅射法成功制备了金属/半导体型颗粒膜Fex(In2O3)1-x.实验结果表明样品的微结构、磁性和巨磁电阻效应受制备条件(如本底真空度、衬底温度、溅射电压等)以及热退火处理的强烈影响.较高的衬底温度有利于基体In2O3的晶化和Fe颗粒的成长.适当的热退火能促使Fe颗粒生长,使晶格畸变减小,从而改...

关键词: 微结构 , 超顺磁性 , 巨磁电阻 , Fe-In2O3颗粒膜