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液封浮区法生长GaAs晶体中的热应力

刘春梅 , 李明伟 , 陈淑仙

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2007.04.006

用有限元法对微重力环境下液封浮区(LEFZ)法生长的3英寸GaAs单晶中的热应力进行求解.假设晶体处于准定常状态且为轴对称的各向同性线弹性体.分析了液封厚度、晶体和进料棒转速对晶体中热应力分布的影响.

关键词: 热应力 , LEFZ法 , GaAs晶体 , 微重力