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用MOCVD法生长GaN基自组装量子点的相关实验及其分析

孟焘 , 朱贤方 , 王占国

稀有金属材料与工程

GaN基相关材料的量子点生长是半导体材料研究的一个热点,尤其是用MOCVD方法生长GaN基自组装量子点占了相当的比例,因此相关的文献较多,但综述性文章却不多见.鉴于此,本文综述了用MOCVD法制备GaN基量子点的不同实验方法,并对影响量子点生长的实验条件和参数做了简要的分析.希望能够对相关的实验研究工作提供一些参考.

关键词: GaN基量子点 , 自组装 , S-K模式 , MOCVD