张一兵
,
翁文剑
,
杜丕一
,
沈鸽
,
韩高荣
,
叶志镇
功能材料
研究了分别以H2C2O4、HNO3、HCOOH和CH 3COOH作稳定剂的LiNbO3薄膜先驱液的稳定性,发现H 2C2O4作稳定剂的先驱液的稳定性最好;用sol-gel法在Si(110)基板上制备了以H2C2O4作稳定剂的LiNbO3薄膜,并对LiNbO3薄膜进行了IR、XRD和SEM表征,结果表明,生成的LiNbO3为多晶,与HNO3相比,以H2C2O4作稳定剂制备的LiNbO3薄膜形貌较差.
关键词:
铌酸锂
,
薄膜
,
sol-gel法
,
H2C2O4
