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检索条件：关键词=HMDS
叶龙强 , 张清华 , 张雨露 , 张欣向 , 江波
无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2012.11607
通过膜层设计理论设计出以K9玻璃为基底的兼具高透过率和高耐摩擦性的三层宽带增透膜,并通过溶胶-凝胶技术成功制备了所设计的增透膜.以正硅酸乙酯(TEOS)和钛酸丁酯(TTIP)为前驱体、以盐酸为催化剂制得SiO2 和TiO2溶胶.将两种溶胶按一定比例混合得到SiO2-TiO2复合溶胶.实验结果表明:三...
关键词: 膜层设计 , 高透过率 , 高耐摩擦性 , HMDS , 耐环境性
朱云洲 , 黄政仁 , 董绍明 , 袁明 , 江东亮
稀有金属材料与工程
以六甲基二硅胺烷(HMDS)作为硅源和碳源,H2为载气,Ar为稀释气体,前驱体由载气通过鼓泡法带入反应室,通过等温化学气相渗透法(Isothermal Chemical vapor Infiltration,ICVI)在SiC纤维表面沉积SiC涂层.通过控制沉积温度来控制涂层的表面形貌、厚度.研究表...
关键词: 化学气相沉积 , SiC涂层 , HMDS
