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磁控溅射法制备HfO2薄膜及电阻转变特性研究

李艳艳 , 刘正堂 , 谭婷婷

稀有金属材料与工程

采用磁控溅射法,以ITO/Glass为衬底,制备了具有电阻转变特性的HfO2薄膜.X射线光电子能谱(XPS)分析发现,薄膜中的Hf、O元素不成化学计量比,薄膜中可能存在大量氧空位.电学测试结果表明,HfO2薄膜表现出明显的双极电阻转变特性,并且表现出良好的可靠性(室温下可重复测试102次以上)和稳定...

关键词: 磁控溅射法 , HfOx薄膜 , 电阻转变特性 , 双极性