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反应射频磁控溅射法制备HfTaO薄膜的热稳定性和光学性能

马春雨 , 苗春雨 , 李树林 , 王文娟 , 张庆瑜

功能材料

采用反应射频磁控溅射技术制备HfTaO薄膜,利用X射线衍射（XRD）分析了薄膜的微结构,通过紫外-可见光分光光度计测量了薄膜的透过谱,计算了薄膜的折射率和禁带宽度,利用原子力显微镜观察了薄膜的表面形貌。结果表明,随着Ta掺入量（10%,26%,50%）的增加,HfTaO薄膜的结晶化温度分别为800、...

关键词: HfTaO薄膜 , 磁控溅射 , 光学性能 , 热稳定性