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FFS产品树脂材料结构ITO刻蚀技术研究

姜晓辉 , 张家祥 , 王亮 , 郭建 , 沈奇雨 , 曲连杰 , 张文余 , 田宗民 , 阎长江

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20132802.0194

树脂材料表面平坦度高,光透过率高,介电常数低(e≈3.5),在薄膜晶体管显示器(TFT-LCD)中使用树脂材料作为钝化层,可以降低公共电极和源、漏金属之间的电容,降低逻辑功耗,达到降低整体功耗的目的,同时增大开口率.文章讨论在边缘场中引入树脂材料作为钝化层产生的与氧化铟锡(ITO)刻蚀相关问题:金属...

关键词: 树脂材料 , ITO刻蚀 , ITO刻蚀 , 涂胶工艺

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