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聚合物太阳电池ITO电极的光刻制备

刘桂林 , 朱华新 , 郭颖 , 严慧敏 , 李果华

人工晶体学报

使用光刻的方法进行ITO电极的制作,可制得精细的电极结构,本文重点阐述了使用光刻制备ITO电极的方法,包括表面清洗、曝光参量、显影条件、腐蚀工艺等,其中较为理想的ITO光刻工艺为:50 s曝光时间、30 s显影时间、20s化学腐蚀时间.并用对腐蚀工艺条件进行了理论分析,并使用光学相干断层扫描(OCT...

关键词: ITO电极 , 光刻 , 化学腐蚀 , 光学相干断层扫描

ITO电极的湿膜光刻与干膜光刻制备研究

严慧敏 , 郭颖 , 朱华新 , 刘桂林 , 朱冰洁 , 李帅 , 李果华

人工晶体学报

聚合物太阳电池的制备中,阳极ITO的制备是决定器件效率的重要工艺之一.本文主要对ITO电极的湿膜光刻和干膜光刻制备方法进行了比较,并用光学相干断层扫描(OCT)技术等方法对制备的电极进行了检测,结果表明湿膜光刻可以获得较为精细的电极结构.

关键词: 湿膜光刻 , 干膜光刻 , OCT , ITO电极

阳极光电性能对聚合物太阳电池性能的影响

郭颖 , 刘桂林 , 朱华新 , 严慧敏 , 朱冰洁 , 李帅 , 于海民 , 李果华

人工晶体学报

为验证ITO的光电性能,以不同类型ITO作为光电阳极,采用旋涂与真空蒸镀的方法制备本体异质结聚合物太阳电池ITO/PEDOT∶ PSS/P3HT∶ PCBM/Al,研究了ITO表面形貌及光场分布对太阳电池光电性能的影响.结果表明,合适的ITO厚度及表面形貌能够在有效收集空穴的同时,提高光子透过率,保...

关键词: 聚合物太阳电池 , ITO电极 , 透过率 , 光伏特性 , 表面形貌

基于ITO电极下氧化铪基阻变存储器的性能研究

何品 , 叶葱 , 邓腾飞 , 吴加吉 , 张骏驰 , 王浩

稀有金属 doi:10.13373/j.cnki.cjrm.2016.03.007

采用磁控溅射和光刻技术制备了1 pm×1 μm的TiN/HfO2/ITO(氧化铟锡)3层结构的器件,通过控制改变正负细丝形成(forming)电压的操作方式来研究其阻变性能.研究结果表明,在上述的两种操作模式下,当保持操作端不变时导电细丝的形成与断裂均发生在ITO端操作,且从电流-电压(I-V)循环...

关键词: 阻变存储器 , 自限流特性 , 操作电流 , ITO电极

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