张雪凤
,
常鹏北
,
彭晖
,
刘冠鹏
材料开发与应用
doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2012.02.011
本文提出一种新型的ITO废靶回收技术,采用直流电弧法将ITO废靶气化制成纳米ITO粉末,实现废靶的回收.借助XRD(X射线衍射)和TEM(透射电子显微镜)等技术对粉末进行表征,发现经回收制备的ITO粉末为单一的立方In2O3结构,颗粒多以四方和类球形两种形貌存在,粒度尺寸在5- 200nm范围内.
关键词:
ITO废靶
,
直流电弧法
,
回收
,
ITO粉末
