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ITO透明导电薄膜厚度与光电性能的关系

吴云龙 , 成惠峰 , 余刚 , 王永斌 , 韩磊 , 付静

材料科学与工程学报

透明导电薄膜的厚度制约其光电性质。本研究利用磁控溅射技术制备了厚度变化范围为200-1500nm的ITO薄膜,探索了薄膜颜色、可见光透过率、面电阻与膜厚的关系。薄膜颜色随着膜厚的增加呈现有规律的变化,可见光透过率随薄膜厚度的增加而呈现振荡下降趋势,并出现了极大值（紫红色）,振荡趋势可用多光束干涉解释;薄膜面电阻随膜厚的增加呈减小趋势,薄膜厚度为1387nm时,面电阻为1.3Ω/□,薄膜最小电阻率为1.8×10-4Ω.cm。文章给出了可以通过选择恰当的薄膜厚度,以尽可能满足透明导电薄膜面电阻、透过率两个相互矛盾的指标。

关键词: ITO , 可见光透过率 , 面电阻 , 透明导电氧化物

氧气含量对ITO薄膜电学性能及其稳定性的影响

许积文 , 杨祖培 , 王华 , 徐华蕊 , 张小文

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2014.增刊(Ⅰ).010

调节磁控溅射工艺中氧气的含量，在玻璃基片上制备了ITO 薄膜.研究氧气含量对 ITO 薄膜光学、电学性能的影响，以及在高温、高温高湿、碱性环境及经时的电学性能的稳定性.结果表明，氧气含量的增加会降低沉积速率；氧气含量对 ITO 薄膜在可见光区内的透光率影响较小，但会引起峰值透光率蓝移；对电学性能及其稳定性影响较大，氧气含量在1％(体积分数)以内时，电学性能呈先降低后升高的变化，在0．4％(体积分数)时具有较低的电阻率，且在各种环境中具有较高的稳定性；氧气含量高于1％(体积分数)，电学性能及其稳定性变差.

关键词: ITO 薄膜 , 氧气含量 , 电学性能 , 稳定性

金属Ag微网格修饰ITO薄膜的制备及光电性能

吴东奇 , 王文文 , 马丁 , 李东亮 , 王聪

功能材料

利用聚苯乙烯（PS）微球模板技术和直流磁控溅射技术在ITO（In2O3∶Sn）薄膜表面进行Ag的微网格修饰,得到具有良好周期性的表面结构。研究了PS微球直径和直流磁控溅射Ag时间对ITO薄膜表面形貌、可见光区透过率、漫反射率和导电性能的影响。实验及分析证明,对ITO表面进行Ag微网格修饰,当微球直径为2μm,溅射时间为30s时,最大可提高薄膜的导电性能19.5%,其漫反射性能可提高200%,同时在可见光区透过率的降低控制在10%以下,这将有助于提高ITO薄膜作为太阳能电池透明电极的陷光性能。

关键词: ITO薄膜 , 模板技术 , 直流磁控溅射 , Ag微网格

PET衬底上ITO薄膜的制备及光电性能

杨坤 , 胡志强 , 徐书林 , 王海权 , 于洋 , 刘贵山 , 姜妍彦 , 张海涛

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2014.03.013

用脉冲磁控溅射法在柔性衬底聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)上制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜,研究了溅射气压、时间和衬底温度等工艺条件对ITO薄膜光电性能的影响,并采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)对薄膜的物相结构与表面形貌进行了分析.结果表明:薄膜的平均晶粒尺寸随衬底温度的升高而增大;当溅射时间增加时,方块电阻与光透过率均减小;当衬底温度升高时,方块电阻减小,可见光透过率增大.

关键词: 脉冲磁控溅射 , 氧化铟锡薄膜 , PET

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